1、掃描電子顯微鏡的工作原理：掃描電子顯微鏡的制造依據(jù)是電子與物質(zhì)的相互作用。
【資料圖】
2、掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。
3、通過對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。
4、當(dāng)一束極細(xì)的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。
5、同時(shí)可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)（聲子)、電子振蕩（等離子體）。
6、擴(kuò)展資料：研發(fā)歷程：1873 Abbe 和Helmholfz 分別提出解像力與照射光的波長(zhǎng)成反比。
7、奠定了顯微鏡的理論基礎(chǔ)。
8、1931德國(guó)物理學(xué)家Knoll 及Ruska 首先發(fā)展出穿透式電子顯微鏡原型機(jī)。
9、1938 第一部掃描電子顯微鏡由Von Ardenne 發(fā)展成功。
10、1959年第一臺(tái)100KV電子顯微鏡 1975年第一臺(tái)掃描電子顯微鏡DX3 在中國(guó)科學(xué)院科學(xué)儀器廠（現(xiàn)北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司）研發(fā)成功。
11、參考資料來源：百度百科——掃描電子顯微鏡。
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