去年5月曝光的三星電子旗下半導(dǎo)體設(shè)備公司——SEMES公司前員工等7人因涉嫌將SEMES開發(fā)的半導(dǎo)體清洗設(shè)備技術(shù)出售給中國企業(yè)而被起訴的案件又有了新進(jìn)展。

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1月17日消息，據(jù)韓國媒體報(bào)道，韓國水原地方檢察廳16日宣布，已起訴包括三星電子旗下半導(dǎo)體設(shè)備公司——SEMES公司前研究人員，以及此次技術(shù)泄漏事件經(jīng)紀(jì)人在內(nèi)的五人，他涉嫌將SEMES開發(fā)的半導(dǎo)體清洗設(shè)備技術(shù)出售給中國企業(yè)，違反了韓國《產(chǎn)業(yè)技術(shù)保護(hù)法》和《防止不正當(dāng)競(jìng)爭(zhēng)法》。在這五人中，有四人被捕，一人由于是被煽動(dòng)而沒有被拘留。

△2020年6月，三星電子董事長李在镕視察SEMES天安工廠的生產(chǎn)線

報(bào)道稱，此次被正式起訴的五人包括一名前SEMES員工，他于2016年退出公司，并于2019年創(chuàng)辦了自己的公司。他涉嫌于2021年6月將通過將SEMES合作伙伴公司的首席執(zhí)行官獲得的“超臨界半導(dǎo)體清洗設(shè)備”的關(guān)鍵圖紙交給技術(shù)泄漏經(jīng)紀(jì)人。隨后該經(jīng)紀(jì)人將圖紙泄露給了中國廠商。

調(diào)查人員發(fā)現(xiàn)，這位前SEMES員工和其他人在2019年12月至2022年7月期間通過出口20臺(tái)清潔設(shè)備與相關(guān)技術(shù)一同出售給了中國企業(yè)及研究機(jī)構(gòu)，從中獲取了1193億韓元（約合人民幣6.5億元）的報(bào)酬。

去年曝光的消息顯示，這位前SEMES員工及相關(guān)人員在盜取SEMES公司技術(shù)后，制成14臺(tái)相同配置的半導(dǎo)體清洗設(shè)備，與相關(guān)技術(shù)一同出售給了中國企業(yè)及研究機(jī)構(gòu)，從中獲取了710億韓元，約合人民幣3.7億元的報(bào)酬。

據(jù)SEMES官網(wǎng)介紹，其SUPER CRYSTAL系列清洗機(jī)是世界第一臺(tái)超臨界設(shè)備，采用無傾斜技術(shù)（高萃取/高溶解度），具備高通量和穩(wěn)定性，能夠去除19nm的顆粒。

△Semes的晶圓清洗機(jī)

報(bào)道稱，“從2009年到2021年，SEMES在超臨界技術(shù)的研發(fā)上投入了約350億韓元，”一位檢方官員說?！斑@一泄密造成了超過350億韓元的直接損失。人們擔(dān)心，如果SEMES的訂單由于公司技術(shù)實(shí)力下降而僅下降10%，那么SEMES每年將遭受超過400億韓元（約合人民幣2.2億元）的損失。

對(duì)于具體是哪家中國企業(yè)涉及其中，相關(guān)報(bào)道及檢方披露的資料并未顯示。由此，也引發(fā)了國內(nèi)投資者的關(guān)注和猜測(cè)。去年6月1日，盛美上海在投資者互動(dòng)平臺(tái)就回應(yīng)投資者提問時(shí)稱：“盛美上海及控股子公司與該事件完全無關(guān)。”

此外，這位前SEMES員工還被指控與另一名前SEMES 研究員合謀，將SEMES 于 2021年在全球第二次開發(fā)的單晶圓磷酸鹽清潔設(shè)備的信息泄露給自己離職后創(chuàng)立的公司的員工，后者也被逮捕和起訴。單晶圓磷酸鹽清洗設(shè)備用磷酸溶液逐一清洗半導(dǎo)體。它用于去除殘留在晶圓表面上的二氧化硅。

報(bào)道稱，世界上只有兩家公司成功開發(fā)了這種設(shè)備——韓國的SEMES和日本的Shibaura（芝浦）。

去年5月，這名前SEMES員工因向中國泄露SEMES濕式半導(dǎo)體清洗設(shè)備的信息而被捕并被起訴一次。去年11月，由于逮捕期屆滿，他被取保候?qū)?，沒有拘留，但隨著檢方發(fā)現(xiàn)額外的技術(shù)泄露案（單晶圓磷酸鹽清潔設(shè)備技術(shù)竊密），他再次被監(jiān)禁。

資料顯示，SEMES由三星電子于1993年成立，是生產(chǎn)半導(dǎo)體和顯示器制造設(shè)備的重要子公司。

目前，Semes的產(chǎn)品主要包括半導(dǎo)體前道工序領(lǐng)域的清洗（LOTUS、BLUEICE PRIME）、Phototrack（OMEGA-S、OMEGA-K）、蝕刻（Michelan O3、Michelan C4）設(shè)備，還有后道工序的Bonder、Probe、Test Handler等設(shè)備。

根據(jù)官網(wǎng)公布的數(shù)據(jù)顯示，SEMES在2021年全年的收入為3.12萬億韓元（約人民幣162億元），營業(yè)利潤為3533億韓元。與2020年相比，收入和營業(yè)利潤也分別增長了41%和24%。其中，晶圓廠設(shè)備占Semes的2021年收入的75%，而平板顯示設(shè)備占比1.7%。2020年，晶圓廠設(shè)備占其年收入的61.24%，而平板顯示設(shè)備占比9.9%。該公司的目標(biāo)是到2030年?duì)I收達(dá)到5萬億韓元（約合人民幣273.1億元）。

根據(jù)Gartner的數(shù)據(jù)顯示，在2019年的全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場(chǎng)，日本迪恩士（DNS）、日本東京電子（TEL）、韓國SEMES和美國泛林集團(tuán)（Lam research）分別占據(jù)了45.10%、25.30%、14.80%和12.50%的市場(chǎng)。

編輯：芯智訊-浪客劍

關(guān)鍵詞： 清洗設(shè)備 約合人民幣 三星電子